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技術(shù)文章

Spectronics 的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

Spectronics 的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

日本制× LD-GS(直驅(qū)激光器) ×加工方案

以“以先進(jìn)的激光技術(shù)為產(chǎn)業(yè)革新做貢獻(xiàn)"為企業(yè)使命,作為日本的工業(yè)用超短脈沖激光器制造商,專注于日本激光振蕩器的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和售后服務(wù)。我在這。

皮秒紫外/深紫外激光被用作單微米級(jí)加工的新方法,用于半導(dǎo)體外圍設(shè)備和電子元件等的微型化進(jìn)程,以及陶瓷和玻璃等被認(rèn)為難以用可見光加工的脆性材料激光、透明體加工等,受到了很多關(guān)注。

我們是第一臺(tái)用于深紫外激光器的超短脈沖(15 ps)深紫外(266 nm)量產(chǎn)設(shè)備,據(jù)說這對(duì)于需要長(zhǎng)期可靠性的工業(yè)應(yīng)用來說很難實(shí)現(xiàn)。

Spectronics 激光振蕩器具有出色的可控性、高可加工性和高質(zhì)量加工的特點(diǎn)。此外,由于使用壽命長(zhǎng),維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間減少,這有助于降低作為量產(chǎn)設(shè)備引入后的運(yùn)行成本。

這些特征是通過LD-GS 方法*1實(shí)現(xiàn)的,它誕生于以下三個(gè)突破性技術(shù)的建立。

  1. 1,直接驅(qū)動(dòng)激光器:可在任意時(shí)間產(chǎn)生皮秒脈沖的半導(dǎo)體激光光源

  2. 2,一種同時(shí)使用光纖和固態(tài)的混合放大器,可實(shí)現(xiàn)高輸出,同時(shí)具有窄線寬,可抑制波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換過程中的晶體損壞

  3. 3,使用兼具高輸出和長(zhǎng)壽命的高純度晶體的紫外線/深紫外線波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器

此外,我們擁有加工實(shí)驗(yàn)室,并建立了與客戶共同驗(yàn)證設(shè)備開發(fā)所需加工條件的系統(tǒng),我們通過積極提出加工建議來支持激光加工系統(tǒng)的開發(fā)。我們還提供激光振蕩器周圍的光學(xué)部件,并支持整個(gè)激光加工系統(tǒng)的構(gòu)建。

(*1) LD-GS(激光二極管增益切換)方法:一種通過半導(dǎo)體激光器的弛豫振蕩現(xiàn)象獲得光學(xué)皮秒脈沖的方法。

相關(guān)產(chǎn)品介紹


產(chǎn)品名稱波長(zhǎng)脈沖寬度平均功率重復(fù)頻率特征







266nm(深紫外)<15ps>8W200kHz~1000kHz

高脈沖能量
多脈沖
脈沖分裂









355 納米(紫外線)<15ps>16W200kHz~1000kHz

高脈沖能量
多脈沖
脈沖分裂







355 納米(紫外線)<15?>4W200kHz~1000kHz

高光束質(zhì)量
緊湊型
多脈沖
脈沖分裂





532 納米(綠色)<15ps>25W200kHz~1000kHz

高脈沖能量
多脈沖
脈沖分裂



532 納米(綠色)<15?>6W200kHz~1000kHz

高光束質(zhì)量
緊湊型
多脈沖
脈沖分裂





















































  • 高光束質(zhì)量

  • Denko 系列適用于可處理數(shù) W 級(jí)輸出的加工,并且盡可能抑制輸出,它可以應(yīng)用于光束質(zhì)量 M2 < 1.2 的高質(zhì)量加工,這比以往更高.

  • 緊湊型

  • 與傳統(tǒng)振蕩器相比,劃時(shí)代的設(shè)計(jì)成功地顯著減少了零件數(shù)量,實(shí)現(xiàn)了約 20 公斤的重量減輕。此外,通過減少零件數(shù)量,價(jià)格也有所降低。

  • 高脈沖能量

  • 通過在機(jī)構(gòu)中加入雙固態(tài)放大器,可以實(shí)現(xiàn)高效、高速、高輸出和穩(wěn)定的高脈沖能量的鉆孔和切割等加工。

  • 脈沖分割方式

  • 在脈沖分割模式下,可以控制低重復(fù)頻率,可以從 1 shot 開始加工。

  • 高速加工

  • 多脈沖模式(突發(fā)模式)可以通過細(xì)分脈沖進(jìn)行處理。




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