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技術(shù)文章

無隔振臺(tái)的動(dòng)態(tài)干涉儀4D技術(shù)“PhaseCam6000”分析

無隔振臺(tái)的動(dòng)態(tài)干涉儀4D技術(shù)“PhaseCam6000"分析

具有的“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量"(30微秒標(biāo)準(zhǔn))的超快干涉測(cè)量4D Technology的“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量"可以在振動(dòng)不可避免的地方以及遠(yuǎn)處移動(dòng)的物體和樣品進(jìn)行測(cè)量。 

輕巧緊湊 輕巧緊湊的設(shè)計(jì),機(jī)身尺寸約為 15×15×9 厘米,重量約為 9 公斤。 它非常便攜,可以安裝在任何地方。

光學(xué)系統(tǒng)中自由度大的特威曼格林型干涉儀

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用于發(fā)散光束、50mm 和 100mm 擴(kuò)束鏡的透鏡(可選)

光學(xué)取景器,可輕松調(diào)整光軸外部波長(zhǎng)穩(wěn)定激光器可實(shí)現(xiàn)廣泛的光源選擇。

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傳統(tǒng)的相移干涉儀使用壓電陶瓷元件來移動(dòng)參考表面并捕獲干涉條紋的圖像。 以計(jì)算相位分布。 單次測(cè)量至少需要 100 毫秒或更長(zhǎng)時(shí)間。 在這兩者之間,干涉條紋由于干涉儀和測(cè)量樣品之間的相對(duì)振動(dòng)和空氣波動(dòng)而波動(dòng)。 這可能會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差。 為了防止這種情況,需要光學(xué)面板,隔振裝置,擋風(fēng)玻璃等。 因此,我們別無選擇,只能排除不能采取此類措施的測(cè)量目標(biāo)。 
4D技術(shù)的動(dòng)態(tài)干涉儀通過的動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量解決了這些問題 這是一個(gè)革命性的制度。
“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量"不會(huì)機(jī)械移動(dòng)參考平面,單張可捕獲4幅圖像 獲得了羅姆的相移干涉圖像。 對(duì)單個(gè)相機(jī)的每個(gè)像素執(zhí)行相移。 可以持續(xù)收集數(shù)據(jù),測(cè)量時(shí)間可以減少到30微秒。 因此,在干涉圖像因振動(dòng)等原因而發(fā)生變化之前,測(cè)量在瞬間完成。
這使得在振動(dòng)不可避免的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量,以及測(cè)量遠(yuǎn)處的樣品和移動(dòng)物體成為可能。 可以在固定或腔室中進(jìn)行環(huán)境測(cè)試期間測(cè)量樣品。

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