用于高純度氣體的e-flow壓力調(diào)節(jié)器設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工廠，具有更高的純度和最小的外部泄漏，顆粒和死區(qū)。
它用于半導(dǎo)體工廠設(shè)施（設(shè)備）的鋼瓶柜、連接件、閥箱和設(shè)備制造商的集成單元的各種氣體。
由于它是一種密封產(chǎn)品，因此非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性和氣體。

用于高純度氣體的壓力調(diào)節(jié)器陣容

L系列：接頭對焊規(guī)范、外密封金屬結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。
R系列; 本產(chǎn)品具有旋入式（NPT）規(guī)格和外部軟密封結(jié)構(gòu)。 焊接規(guī)范是插入焊接。
D系列：帶先導(dǎo)結(jié)構(gòu)的電子控制壓力調(diào)節(jié)器，將L和R系列與壓力控制單元相結(jié)合。
U系列; 主體采用特殊規(guī)格、對焊規(guī)格加工，外封為金屬密封結(jié)構(gòu)。

關(guān)于潮汐式和自由式調(diào)節(jié)閥

我們的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格是自由提升閥芯法，但海外制造商使用潮汐隔膜式結(jié)構(gòu)的情況很多。 根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同，各有利弊，但對于高純度支架，由于在氣密性檢查期間無死區(qū)和無手柄操作的想法，自由型是標(biāo)準(zhǔn)配置。