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產(chǎn)品資料
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日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

產(chǎn)品名稱: 日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列
該系列采用ESV-6或以下的環(huán)形加熱器和ESV-8或以上的內(nèi)部熱式護(hù)套加熱器,以從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力。防止因機(jī)油碰撞而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率(與我們公司相比),因此具有運(yùn)行時(shí)間短,排量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。它還需要較少的液壓油。

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列 的詳細(xì)介紹

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列


ESV系列的功能

該系列采用ESV-6或以下的環(huán)形加熱器和ESV-8或以上的內(nèi)部熱式護(hù)套加熱器,以從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力。防止因機(jī)油碰撞而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率(與我們公司相比),因此具有運(yùn)行時(shí)間短,排量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。它還需要較少的液壓油。

使用例

  • 各種真空爐

  • 各種實(shí)驗(yàn)的排氣裝置

  • 管材制造設(shè)備

  • 各種成膜設(shè)備

  • 電子束焊接

  • 電子顯微鏡

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

ESV系列陣容

模型單元ESV-3ESV-4ESV-6
抽速升/秒3805801,200
極限壓力10 -610 -610 -6
工作壓力范圍10 -6?3.3 ×10 -110 -6?3.3 ×10 -110 -6?0.4
臨界背壓404040
大排量帕升/秒93190260
用油
高腰F-4高腰F-4高腰F-4
油量大號(hào)0.120.180.3
墊片

維通

維通

維通

加熱器格式

云母帶

云母帶

云母帶

電壓,相ACV,相

200,1

200,1

200,1

格式千瓦

0.55

0.75

1.2

錄取

VG80

VG100

VG150

輔助口

VG25

VG25

VG50

冷卻方式

水冷

水冷

水冷

冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

1.1

1.5

2

輔助泵

DRP-360Ⅲ或RP-360Z

DRP-800或RP-800ZⅡ

DRP-800或RP-800ZⅡ

擋板格式

3C(雪佛龍)

4C(雪佛龍)

6C(雪佛龍)

帶擋板的抽速升/秒

165

240

450

擋板冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

1.1

1.5

2

機(jī)油倒流率cm 3 / cm 2分鐘

10 -8

10 -8

10 -8

材料圓筒

不銹

不銹

不銹

噴射

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

大眾公斤

8.5

11

20







模型單元ESV-8ESV-10ESV-12
抽速升/秒2,0003,0004,500
極限壓力10 -610 -610 -6
工作壓力范圍10 -6?3.3 ×10 -110 -6?3.3 ×10 -110 -5?0.4
臨界背壓464037
大排量帕升/秒400460800
用油
高腰F-4高腰F-4獅子A
油量大號(hào)0.61個(gè)1個(gè)
墊片

維通

維通

氯丁橡膠

加熱器格式

種子

種子

種子

電壓,相ACV,相

200,1

200、3

200、3

格式千瓦

1.6

2.5

3.2

錄取

VG200

VG250

VG300

輔助口

VG50

VG50

VG80

冷卻方式

水冷

水冷

水冷

冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

2.5

6

輔助泵

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

RP-1200ZII x 2

擋板格式

8C(雪佛龍)

10C(雪佛龍)

12C(雪佛龍)

帶擋板的抽速升/秒

800

1,200

1,800

擋板冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

2.5

6

機(jī)油倒流率cm 3 / cm 2分鐘

10 -8

10 -8

10 -7

材料圓筒

不銹

不銹

鐵(鍍鎳)

噴射

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

大眾公斤

二十五

45

55



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