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產(chǎn)品資料
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日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃

產(chǎn)品名稱: 日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點: 日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃
支持超高溫和超高真空支持所有定制要求
電熱絲:NiCr,石墨,SiC / PBN涂層,PG涂層和其他10種材料可供選擇

日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃ 的詳細介紹

日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃

 

總覽

陶瓷頂部加熱器可廣泛用于真空,惰性氣體和其他各種工藝氣體中的薄膜研發(fā)應用,以及各種真空膜沉積設備應用。頂板由氮化鋁制成,氮化鋁在高溫下具有出色的導熱性,并且具有很高的電絕緣性(也可提供Inc600,石英,Mo,W,BN板等)??梢愿鶕?jù)使用條件來選擇加熱器元件,例如金屬線例如NiCr,Inc,Mo,W,碳加熱器例如石墨和CCC,以及涂層加熱器例如PG / SiC / PBN涂層。它不僅用于研發(fā),而且在半導體制造設備和各種真空設備(超高真空設備,例如PVD,CVD,MBE等)中的高溫熱板和基板加熱階段方面也取得了許多成就。

*陶瓷頂部加熱器是定制產(chǎn)品。要求估算時,請告知我們所需的規(guī)格和條件。

 
   

8“ NiCr元素800℃

3”石墨1300℃

6”西伯克大衣1400℃

2”石墨1200℃

   
 

使用

?真空薄膜形成(CVD,濺射,ALD,PLD,MBE等)
?薄膜應力/熱分析
wafer晶圓退火的加熱臺
?其他

 
   
 

使用的發(fā)熱體:根據(jù)使用環(huán)境,可以從以下10種電線中選擇

NiCr加熱器Max1000℃?Inconel
加熱器Max1000℃ 
?鎢加熱器Max1800℃ 
?鉬加熱器Max1800℃ 
?鹵素燈加熱器Max900℃ 
?石墨加熱器Max2,200℃(真空)
?C / C復合加熱器Max2,200℃(真空) )
?各種涂層加熱器(PG,PBN,SiC涂層,玻璃碳)*醉高工作溫度因工作條件而異。

 
   
 

頂板材料

nitride氮化鋁
?鉻鎳鐵合金
?不銹鋼(SUS304,SUS316)
?石英
?鉬
?BN

 
   
 

醉高工作溫度(元件溫度)

 
   
 

主機連接方式

?ICF法蘭
?ISO(KF,LF)法蘭
?JIS(VG,VF)法蘭
?M6雙頭螺栓固定
?固定支架等(*每次開會)

 
   
 

熱電偶(可添加用于車身控制和過熱檢測)

?K型
?R,C型

 
   
 

參考數(shù)據(jù)[1英寸大1600℃陶瓷頂部加熱器]溫升測試(*頁面頂部右圖)

 
   
 

參考數(shù)據(jù)[6英寸大1200℃陶瓷頂部加熱器(CCC元件)]面內溫度分布測量

 日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃

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